雙頻激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器，可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理，利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束，通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進(jìn)行測量。在激光干涉儀中，激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束，其中一個激光束為參考光，另一個激光束則被用來測量待測物體的位移或形變。這兩束激光束會經(jīng)過分束器和反射鏡，最終在檢測器上產(chǎn)生干涉信號。

　　雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器?？梢栽诤銣?，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進(jìn)行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

　　以下是雙頻激光干涉儀的主要功能：

　　1、高精度測量：能夠?qū)崿F(xiàn)非常高的測量精度。通過利用激光的干涉效應(yīng)，它可以測量光程差、長度、表面形貌等參數(shù)，具有亞納米級的測量精度。

　　2、高靈敏度：對于微小的光學(xué)變化非常敏感。它可以檢測到光程差的微小變化，從而實現(xiàn)對微小尺寸變化或表面形貌的測量。這使得它在微納米尺度的應(yīng)用中具有重要意義，例如納米加工、微機械系統(tǒng)等領(lǐng)域。

　　3、大范圍測量：能夠測量大范圍的長度和形貌。通過合理設(shè)計干涉儀的結(jié)構(gòu)和參數(shù)，可以實現(xiàn)從納米級到米級的測量范圍，滿足不同應(yīng)用需求。

　　4、快速響應(yīng)：具有快速的響應(yīng)速度。它可以實時檢測光學(xué)信號的變化，并迅速輸出測量結(jié)果。這使得它在實時監(jiān)測和控制應(yīng)用中非常有用，例如光學(xué)加工、自動化生產(chǎn)線等。

　　5、高穩(wěn)定性：具有良好的穩(wěn)定性。它可以通過自動校準(zhǔn)和溫度補償?shù)燃夹g(shù)，減小外界環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響，提高測量的穩(wěn)定性和可靠性。

　　6、多參數(shù)測量：可以同時測量多個參數(shù)。通過合理設(shè)計和配置，可以實現(xiàn)對長度、形貌、薄膜厚度、折射率等多個參數(shù)的測量，提高設(shè)備的多功能性和應(yīng)用范圍。