?中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。
?中圖儀器GTS激光跟蹤干涉三維測量儀集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體,同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。不僅可以對靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測量,還可以對運(yùn)動的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測量,是大尺寸精密測量的主要手段。
GTS激光跟蹤儀大尺寸三維測量儀能檢測出各部件行走精度,比如機(jī)床導(dǎo)軌直線度,轉(zhuǎn)臺軸向,相互垂直度,徑向跳動等。實(shí)際加工過程中可以使用激光跟蹤儀實(shí)測被加工零件尺寸,以此做為機(jī)床加工進(jìn)給量的依據(jù),此時激光跟蹤儀由檢測設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)楣に囋O(shè)備,用于制造機(jī)床加工。
SJ6000激光干涉儀?測量分辨率0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。
GTS激光跟蹤儀測量系統(tǒng)集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體,主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量,是大尺度空間測量中高精度的重要工業(yè)科學(xué)儀器。
SJ6000國內(nèi)激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,還可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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