中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可測從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，以及各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。是一款以白光干涉技術(shù)為原理，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

工作過程

精密Z向掃描模塊與3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，進(jìn)而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

技術(shù)參數(shù)

行業(yè)技術(shù)的快速更新?lián)Q代，對檢測儀器企業(yè)提出了更高的要求，我們只有主動出擊，迎接挑戰(zhàn)，不斷推出符合市場需求的儀器設(shè)備才能立于不敗之地！中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器，堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，為用戶提供從納米到百米的精密測量解決方案！