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3d輪廓形貌掃描儀

簡(jiǎn)要描述:SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量??筛采w8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。

  • 更新時(shí)間:2024-05-12
  • 產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1-Pro
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1677

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,交通

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量??筛采w8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供微觀形貌相關(guān)的粗糙度和臺(tái)階高等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量等自動(dòng)化擴(kuò)展功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能;


光學(xué)3D表面輪廓儀,國(guó)產(chǎn)白光干涉儀.jpg


部分參數(shù)

XY位移平臺(tái)

尺寸:300×300㎜

移動(dòng)范圍:200×200㎜

負(fù)載:10kg

控制方式:電動(dòng)

Z軸聚焦

行程:100mm

控制方式:電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

形貌重復(fù)性:0.1nm

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階測(cè)量

準(zhǔn)確度:0.3%

重復(fù)性:0.08% 1σ

可測(cè)樣品反射率:0.05%~100%


SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業(yè),可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業(yè),可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業(yè),可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業(yè),測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度;

在軍事領(lǐng)域,測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。



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