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簡(jiǎn)要描述：SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
更新時(shí)間：2024-05-13產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家訪(fǎng) 問(wèn) 量：786產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
中圖儀器SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器是一種利用光的干涉原理來(lái)測(cè)量物體長(zhǎng)度、厚度、形狀、折射率等參數(shù)的儀器。具有測(cè)量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。
SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具?？蓪?shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
1. 自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差，精度高；
2. 測(cè)量過(guò)程全自動(dòng)化，效率高；
3. 可測(cè)量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測(cè)量任意角度間隔，通用性強(qiáng)；
4. 可自動(dòng)生成誤差曲線(xiàn)和補(bǔ)償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算定位精度結(jié)果，無(wú)需人工計(jì)算。
可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；
可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量；
可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
導(dǎo)軌直線(xiàn)度檢測(cè)
對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn)
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
▲主要鏡組圖
其中，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線(xiàn)性測(cè)量距離 | (0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件) |
| 線(xiàn)性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測(cè)量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m) |
| 直線(xiàn)度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線(xiàn)度測(cè)量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測(cè)量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項(xiàng)：
平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
直線(xiàn)度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量
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