中圖儀器SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀是一種能夠測量機(jī)床精度的高精度測量裝置。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

測量原理

SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù)；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應(yīng)用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復(fù)性。

2、激光干涉儀可以實現(xiàn)非接觸式測量，不會對被測量物體造成損傷。

3、激光干涉儀具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數(shù)，提高測量效率。

產(chǎn)品應(yīng)用

1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機(jī)床工作臺的平面度和垂直度。

機(jī)床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài)，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。

對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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