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Product Category中圖儀器SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,還具有測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量,非接觸高精密測(cè)量也不會(huì)劃傷甚至破壞工件。特別對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
中圖儀器光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。
中圖儀器3D光學(xué)輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
w1光學(xué)3D表面輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像,找到該過(guò)程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)大時(shí)的位置,完成3D重建。
中圖儀器光學(xué)輪廓儀W系列采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),保證測(cè)量精度高。能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
中圖儀器SuperViewW1光學(xué)檢測(cè)設(shè)備輪廓儀主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓尺寸,此外具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量??蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
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