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中圖儀器chotest白光干涉儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW白光干涉表面微觀形貌檢測(cè)系統(tǒng)通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉3D顯微測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW摩擦磨損形貌白光干涉測(cè)量?jī)x是以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)摩擦磨損區(qū)進(jìn)行全面的分析判斷。

SuperVIewW納米級(jí)白光干涉三維形貌分析測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。

SuperViewW納米級(jí)白光干涉三維測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。典型結(jié)果包括表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）；幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。